FS 系列：外型小巧、低成本、高速沖程的氣動風囊泵
高速沖程
提升泵的沖程速度 (最高達240 spm)，讓制造過程中，大大減少泵的尺寸、重量、成本，及降低脈動。
無污染設計
過流端零件均采用氟樹脂材質，沒有金屬零件外露的設計，外殼采用氟樹脂材質。使用獨有的軸封 (已申請專利)，能顯著降低顆粒的產生。
液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力
液體輸送溫度范圍高達5 - 180°C，吐出壓力高達45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程，同時適用于化學液體供藥。
易于維護
更換開關無需拆卸，不需定期收緊螺栓，減少了停機時間。
傳感器驅動系統
內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。
規格
最大吐出量 | 55 L/min |
最大吐出壓力 | 0.5 MPa |
最大耗氣量 | 670 NL/min |
最大沖程率 | 240 spm |
主要材質 | PTFE, PFA |
液體輸送溫度范圍 | 5 ~ 180 °C |
FS-N 系列：適用于各類供藥系統，吐出量達100L/min
高速沖程
高速沖程 (FS-80N最高達200 spm)，讓結構緊湊、重量輕、成本低，可同時用于高流量及高壓力工況。
無污染設計
過流端采用氟樹脂無污染構造，使用獨有的軸封顯著降低顆粒的產生(已申請專利)。
高流量及高吐出壓力
最大吐出量高達0.7MPa，不僅滿足化學供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求，同時適用于清洗及CMP制程。
傳感器驅動系統
內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。
規格
最大吐出量 | 100 L/min |
最大吐出壓力 | 0.7 MPa |
最大耗氣量 | 1495 NL/min |
最大沖程率 | 100 spm |
主要材質 | PTFE, PFA |
液體輸送溫度范圍 | 5 ~ 60 °C |
FLP 系列：低脈動氣動風囊泵
低脈動
獨特的系統驅動機制，確保氣囊最佳運動效果，將脈動減到最低。
減低壓縮空氣消耗量
在不影響泵的性能下，減少高達30%的壓縮空氣消耗量。
高持續壓力
最佳的氣囊運動，有效提高壓力的承受能力，以維持穩定的流量和負載頻繁變化下的吐出壓力，尤其在單晶圓處理過程中。
無需阻尼器
泵的運作無需使用阻尼器，節省設備空間及安裝費用，例如氟塑料接管等。整體設備的重量/尺寸得以最小化。
規格
FLP-60W | FLP-75W | |||||
最大吐出量 | 50 | 92 | ||||
最大脈動范圍 | 0.06 MPa | |||||
液體溫度范圍 | 5-100°C | 101-150°C | 150-180°C | 5-100°C | 101-150° | 150-180°C |
最大液體粘度 | 50 mPa?s | |||||
吸程 | 1 m | |||||
環境溫度/濕度 | 0~40°C (非冷凝)/ 30~60°C (非冷凝) | 0~60°C (非冷凝) / 30~60°C (非冷凝) | ||||
儲存溫度/濕度 | -10~60°C (非冷凝) / 20-70°C (非冷凝) | |||||
重量 | 22 kg | 42 kg | ||||